等離子體光譜在線監控系統

等離子體光譜在線監控系統

等離子體光譜分析是應用廣泛的一種方法。利用物理學和化學實驗所積累的物質發光光譜數據，進行理論分析，能確定識別等離子體中發光物種(特征光譜)、計算電子溫度和激發溫度、測量某些物種的密度、電離度、電子密度、電子能量分布等性質。

等離子輻射光譜過程中都伴隨著電子發射、電離，即等離子體的光和熱輻射等過程，以激光焊接為例對分析焊接技術的物理狀態和過程，探究焊接機理、改進工藝方法和改善焊接質量都具有非常重要的意義。等離子體光譜的優點：1、無介入性，使用間接測量方式，對焊接電弧沒有擾2、信息量豐富，特征譜線的強度、寬度及形態可以反映出電弧電子密度、溫度、電導率等信息3、靈敏度高、響應速度快、抗干擾能力強 。

應用：

l                      受控熱核聚變（托卡馬克）

l                      空間科學（等離子體推進技術）

l                      生化處理（等離子體滅菌）

l                      微電子與信息產業（半導體材料蝕刻）

l                      材料合成與處理（等離子體沉積和蝕刻）

l                      國防（等離子體隱身技術）

l                      高新技術應用（LIBS技術）

特點：

l                      實時測量等離子體光譜，并計算顯示電子溫度和電子密度； 

l                      采用四維混合調節位移臺，實現空間點位等離子體測量；

l                      采用多通道光譜儀，實現高分辨率、寬波長范圍的光譜測量；

l                      軟件實現光譜儀與焊槍頭的聯動控制；

l                      集成元素數據庫。

等離子體光譜在線監控系統主要技術指標：